전고체 배터리용 증착시스템

• 전고체배터리 연구개발용 증착시스템

• ① 양극재 공정 – Sputter (증착물질 : LiCoO₂, LiMn₂O₄, LiFePO₄ 등)
• ② 전해질 공정 – Sputter (증착물질 : LiPON, LLZO 등)
• ③ 음극재 공정 – Thermal Evaporator (증착물질 : Lithium)
• ④ 부동화/봉지 공정 – ALD (증착물질 : Al₂O₃, SiO₂, HfO₂, AIN, Si₃N₄ 등)